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Wednesday, October 10, 2018
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"Pressestimmen
'Der Schwerpunkt des Werkes liegt nicht auf der Funktion, sondern auf dem Aufbau und der Fertigung integrierter Schaltungen.[...] Der Autor behandelt alle wichtigen Bereiche, vom Trichlorsilanprozess über die Gasphasendoposition bis hin zum vollstándigen Ablauf von CMOS-Prozessen.[...] Lesen!' Design & Elektronik, September 2010
Klappentext
Dieses Buch beschreibt den Aufbau und die Funktionsweise elektronischer Bauelemente in einer integrierten Schaltung sowie den Herstellungsprozess für ICs. Es richtet sich an Studierende und Dozenten der Hochschulen aus den Bereichen Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik oder Physik. Auch Mitarbeiter aus der Halbleiterindustrie können dieses Buch als Nachschlagewerk nutzen.Nach einem kurzen Einblick in die Entwicklung integrierter Schaltungen wird der Aufbau der verschiedenen Bauelemente in einem IC detailliert beschrieben. Dazu gehören Dioden, Widerstánde und Kondensatoren sowie Bipolar- und MOS-Transistoren. Anschließend werden die eingesetzten Prozesse zur Mikrostrukturierung erláutert:- Herstellung dünner Schichten auf einem Siliziumwafer- Fotolithographie und Á„tzprozesse zur Strukturierung- DotierungAuf dieses Wissen aufbauend wird ein vollstándiger CMOS-Prozess von der Wafererzeugung bis zur Metallisierung beschrieben. Die für das Einsetzen eines Chips in ein Plastikgeháuse verwendeten Aufbau- und Verbindungstechniken folgen. Zum Schluss werden die Testverfahren erláutert, mit denen die Qualitát der ICs festgelegt wird.Neu aufgenommen in diese Auflage wurden Ìbungsaufgaben zu jedem Kapitel. Damit kann der Leser sein Wissen entsprechend überprüfen. Zugehörige Lösungen unter:www.hochschule-bochum.de/fbe/bauelemente-mikroelektronik/veroeffentlichungen/fachbuecher.html
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